プローブ選定を誤っている？

設計時こは固有抵抗値５０㎜Ωと想定していたが、どうしても予想値を超えてくる。

プローブがデバイス材質にあった形状・荷重・材質になっていない可能性があります。
そのためデバイスに応じたプローブを再選定します。また測定方法を見直すことも実施します。

第一段階のプローブを再選定することで希望の測定数値を到達させることができました。
次に装置改造タイミングの際に測定方法を変更させることで完全に対応が完了しました。